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Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering

IEICE technical report. Magnetic recording Volume 101 Issue 399 Page 19-24
published_at 2001-10-31
Title
ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアの磁気特性および記録特性
Magnetic properties and recording characteristics of Co-containing ferrite thin-film media prepared by ECR sputtering
Abstract
反応性ECRスパッタ法を用いて150℃の基板温度で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアを、2種類の方法によって酸化処理を行い、その磁気特性および記録特性におよぼす効果について調べた。その結果、ECRプラズマを照射することによって酸化処理を施したCo含有酸化鉄薄膜メディアは、平滑な表面を維持したまま磁気特性を向上させることができ、MIGヘッドによる記録・再生において市販の20Gb/in^2級長手ハードディスクと同程度のD_<50>を示すことがわかった。
Creators 平田 京
Creators Yamamoto Setsuo
Creators Kurisu Hiroki
Creators 松浦 満
Creators 土井 孝紀
Creators 田万里 耕作
Source Identifiers [PISSN] 0913-5685 [NCID] AN10013050
Creator Keywords
反応性ECRスパッタ法 Co含有酸化鉄薄膜メディア 垂直磁気記録 磁気記録メディア 酸化処理
Languages jpn
Resource Type journal article
Publishers 電子情報通信学会
Date Issued 2001-10-31
File Version Not Applicable (or Unknown)
Access Rights metadata only access
Relations
[isVersionOf] [NAID]110003186648
[isPartOf] [URI]http://ci.nii.ac.jp/vol_issue/nels/AN10013050_jp.html
Schools 大学院理工学研究科(工学)